サーモリフレクタンスアナライザー（TDTR）

パルス光加熱によるサーモリフレクタンス

産業界の要請に応え、産業技術総合研究所（AIST）は、90年代前半に「「パルス光加熱式サーモリフレクタンス法」を開発しました。AIST技術移転ベンチャー企業のピコサーム株式会社は2008年に設立され、ナノ秒サーモリフレクタンスアナライザー「NanoTR」とピコ秒サーモリフレクタンスアナライザー「PicoTR」を発売し、数10μmからナノメートル領域までの薄膜の熱拡散率を絶対測定が可能となりました。

2020年10月、ピコサーム株式会社はNETZSCH Japan株式会社の子会社としてNETZSCHグループの一員となり、NETZSCH社のLFAシステムとの組み合わせにより、ナノメートルレンジの薄膜からミリメートルレンジのバルク材までのソリューションを提供することができるようになりました